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天津碳氮化钛涂层中的CVD法是什么

发表于:2020/11/10 15:14:00 来源:http://www.hedaotech.com/news498328.html

       天津碳氮化钛涂层中的CVD法是主要用于硬质合金车削类刀具的表面涂层,其涂层刀具适合于中型、重型切削的高速粗加工及半精加工。

       CVD法与其他涂层方法比较,不仅设备简单,工艺成熟,还有以下优点:

       1、工艺成本低,适合大量生产;

       2、沉积速率高,而且容易控制;

       3、黏附力较强,可获得较厚的涂层;

       4、有高度的渗透性和均匀性,可获得不同组织的多层涂层,涂层厚薄均匀;


       5、涂层纯度高,晶粒细而致密;

       6、沉积物种类多,能涂金属、合金、碳化物、氮化物、硼化物、氧化物、碳氮化物、氧氮化物氢碳氮化物等。

       在天津碳氮化钛涂层中的各种CVD法中,用得多的是真空离子轰击法和磁控离子反应喷涂法。CVD法属于原子沉积类,是利用金属卤化物的蒸气、氢气和其他化学成分,在950~1050℃的高温下,进行分解、热合等气、固反应沉积物以原子、离子、分子等原子尺度的形态在加热基体表面形成固态沉积层的一种方法,其过程包括三个阶段:物料汽化、运输到基体附近和在基体上形成覆盖层。

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